Alvo plano vs alvo rotativo
O alvo planar e o alvo rotativo são dois alvos comuns de pulverização, que têm suas próprias características em estrutura e aplicação.
Um alvo planar é uma ferramenta experimental usada no estudo de substâncias, geralmente colocadas na câmara alvo. É feito de material puro e apresenta uma forma plana fixa. Na pesquisa de materiais, os alvos planos são frequentemente usados em experimentos como deposição de pulverização e bombardeio de feixe de íons, através do qual os pesquisadores podem obter informações relevantes, como a composição e a estrutura dos materiais. Uma vantagem significativa desse tipo de alvo é sua estrutura simples e forte versatilidade, o que torna a uniformidade e a repetibilidade da camada do filme. No entanto, uma desvantagem significativa é a baixa taxa de utilização alvo, geralmente apenas cerca de 20%. Quando a área de brilho (área de distribuição de campo magnética) do alvo é consumida até certo ponto, ela formará uma faixa de fossas, tornando o alvo fino. Quando a profundidade do poço atinge um determinado valor, o alvo não pode mais ser usado.
Um alvo rotativo é um tipo de alvo rotativo que pode girar em velocidades e direções diferentes. Esse design permite uma distribuição mais uniforme da substância no alvo. As principais vantagens dos alvos rotativos sobre alvos planos são sua estrutura compacta e maior utilização do alvo. Isso significa que os alvos rotativos podem resolver o problema da baixa utilização de alvos planos. No entanto, os alvos rotativos também têm algumas desvantagens. Por exemplo, ao pulverizar, toda a superfície do alvo produzirá muitos anéis de brilho, resultando na incapacidade de formar um brilho contínuo em faixas. Portanto, ao revestir uma grande área de filme, a uniformidade da superfície do filme pode ser ruim e é difícil atender a algumas necessidades específicas.
